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SJ6000工業(yè)激光干涉儀的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個測量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉儀測量設(shè)備測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好，配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；應(yīng)用范圍廣，可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結(jié)合軟件系統(tǒng)，也可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析，實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析。

SJ6000國產(chǎn)激光光學(xué)干涉儀配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。儀器可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測；結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析；可實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析。

GTS激光測量跟蹤儀將干涉測長的及時修正速度與絕對測距功能相結(jié)合，保證測量精度，并實(shí)現(xiàn)擋光恢復(fù)。在斷光時會在小范圍內(nèi)自動搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動鎖定目標(biāo)球，全過程不需人為操作，提高測量效率。在大尺度空間測量工業(yè)科學(xué)儀器中具有高精度和重要性，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。

GTS國產(chǎn)激光跟蹤儀檢測儀集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體，在大尺度空間測量工業(yè)科學(xué)儀器中具有重要性，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。

SJ6000機(jī)床激光干涉儀對機(jī)床運(yùn)動導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項(xiàng)參數(shù)檢測分析、校準(zhǔn)補(bǔ)償具有重要性，而機(jī)床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進(jìn)行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試、分析。