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中圖儀器的國產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)平行度、線性測長、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀量程精度高，可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，環(huán)境適應(yīng)能力強，同時可進(jìn)行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量線速度、角度、平面度、振動幅度及速度等。

SJ6000機(jī)床設(shè)備激光干涉儀品牌以光波為載體，其光波波長直接對米進(jìn)行定義，廣泛應(yīng)用于機(jī)床、精密機(jī)械設(shè)備、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、三坐標(biāo)、機(jī)器人、線性位移平臺、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量，是高精度、高靈敏度測量儀器。

GTS激光跟蹤儀是工業(yè)測量系統(tǒng)中一種高精度的大尺寸測量儀器。它集合了激光干涉測距技術(shù)、光電探測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論等各種**技術(shù)，對空間運動目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實時測量目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)。它具有高精度、高效率、實時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點，適合于大尺寸工件配裝測量。

國產(chǎn)自主研發(fā)GTS激光跟蹤儀是一種空間大尺寸三維坐標(biāo)精密測量的**幾何量儀器，不僅可以對靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測量，還可以對運動的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測量，是大尺寸精密測量的主要手段。

精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。